本課程主要講授集成電路制造的工藝原理、方法、設備及工藝中主要參數(shù)的測試和質量控制方法。在結構上對應集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的環(huán)節(jié)，以集成電路生產(chǎn)過程為導向，根據(jù)企業(yè)崗位設置，對教學內容進行模塊化設計，分基礎模塊、核心模塊，拓展模塊、提升模塊四部分。設計既注重學生對集成電路的整個工藝過程有一完整的了解，同時又重點突出對集成電路芯片制造的五個核心工藝的把握。本次課程開設會補充部分最新的工藝技術及集成電路工藝仿真部分的內容。