微納加工廣泛應用于物理、化學、材料、電子、機械、生物等各種學科。本課程的目的是使學生掌握各種微納加工的基本原理，為未來的研究打下很好的器件制備基礎。 本課程的特點是制作較多的動畫，讓同學理解工藝過程不再是一件難事。同時本課程將會針對各個工藝過程中的設備進行拍攝和介紹，讓同學結合設備視頻和課堂講授，深度掌握加工工藝，以后給導師制備一個新型器件不再是難事。

對各種加工技術的介紹著重講清原理，列舉基本的_丁藝步驟，說明各種工藝條件的由來，并注意給出典型的工藝參數；充分分析了各種技術的優(yōu)缺點及在應用過程中的注意事項；以大量圖表與實例說明各種加工方法，避免煩瑣的數學分析；并以專門一章介紹了微納米加工技術在現代高新技術領域的應用，演示了如何靈活應用微納米加工技術來推動這些領域的技術進步。