微納加工廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、材料、電子、機(jī)械、生物等各種學(xué)科。本課程的目的是使學(xué)生掌握各種微納加工的基本原理，為未來(lái)的研究打下很好的器件制備基礎(chǔ)。 本課程的特點(diǎn)是制作較多的動(dòng)畫(huà)，讓同學(xué)理解工藝過(guò)程不再是一件難事。同時(shí)本課程將會(huì)針對(duì)各個(gè)工藝過(guò)程中的設(shè)備進(jìn)行拍攝和介紹，讓同學(xué)結(jié)合設(shè)備視頻和課堂講授，深度掌握加工工藝，以后給導(dǎo)師制備一個(gè)新型器件不再是難事。

對(duì)各種加工技術(shù)的介紹著重講清原理，列舉基本的_丁藝步驟，說(shuō)明各種工藝條件的由來(lái)，并注意給出典型的工藝參數(shù)；充分分析了各種技術(shù)的優(yōu)缺點(diǎn)及在應(yīng)用過(guò)程中的注意事項(xiàng)；以大量圖表與實(shí)例說(shuō)明各種加工方法，避免煩瑣的數(shù)學(xué)分析；并以專門(mén)一章介紹了微納米加工技術(shù)在現(xiàn)代高新技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用，演示了如何靈活應(yīng)用微納米加工技術(shù)來(lái)推動(dòng)這些領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步。