微納加工廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、材料、電子、機械、生物等各種學(xué)科。本課程的目的是使學(xué)生掌握各種微納加工的基本原理，為未來的研究打下很好的器件制備基礎(chǔ)。 本課程的特點是制作較多的動畫，讓同學(xué)理解工藝過程不再是一件難事。同時本課程將會針對各個工藝過程中的設(shè)備進行拍攝和介紹，讓同學(xué)結(jié)合設(shè)備視頻和課堂講授，深度掌握加工工藝，以后給導(dǎo)師制備一個新型器件不再是難事。

對各種加工技術(shù)的介紹著重講清原理，列舉基本的_丁藝步驟，說明各種工藝條件的由來，并注意給出典型的工藝參數(shù)；充分分析了各種技術(shù)的優(yōu)缺點及在應(yīng)用過程中的注意事項；以大量圖表與實例說明各種加工方法，避免煩瑣的數(shù)學(xué)分析；并以專門一章介紹了微納米加工技術(shù)在現(xiàn)代高新技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用，演示了如何靈活應(yīng)用微納米加工技術(shù)來推動這些領(lǐng)域的技術(shù)進步。